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thinksrs斯坦福UGAPM100100 amu過程監(jiān)視器

更新時間:2023-10-30      瀏覽次數(shù):296

thinksrs程序控制
UGAPM系列—多達(dá)300臺amu氣體分析儀


  • 工作壓力為1毫托至20托
  • 100、200和300 amu系統(tǒng)
  • <1.5 second response time

  • 多點分析
  • 多范圍應(yīng)用
  • 幾乎為零死體積
  • 系統(tǒng)烘烤
  • 樣品管線加熱

UGAPM系列過程監(jiān)控系統(tǒng)

UGAPM系列過程監(jiān)控系統(tǒng)是為分析過程氣體而設(shè)計的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作壓力從20托到1毫托。

入口以低流速(大約5x10-5毫巴升/秒)使該儀器非常適合在線分析.

UGAPM的應(yīng)用包括CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、

真空熱處理、目標(biāo)老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析(0.1 mL范圍)等。

這些分析儀也易于操作和維護(hù)。所有組件都可以通過前面板或遠(yuǎn)程計算機(jī)進(jìn)行控制。在UGAPM系統(tǒng)

中,外徑為1/16"或1/8"的不銹鋼毛細(xì)管用于容納半真空取樣。利用這種配置,在處理室和分析器之間

幾乎沒有死體積。

操作原理

UGAPM系統(tǒng)使用單級毛細(xì)管減壓入口從1毫托到20托對氣體進(jìn)行采樣。在壓力降低到大約10-6氣流

被送至質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀RGA ),該質(zhì)譜儀測量每種目標(biāo)質(zhì)量的濃度。

UGAPM Windows軟件為復(fù)雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系

統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。

多毛細(xì)管入口

可選的多入口閥有兩種可能的配置。一種是多通道配置,它可以在不同的地方應(yīng)用于特定的樣品壓力。

另一種是多量程配置,可適用于各種不同的樣品壓力范圍。

QQ截圖20231030154754.jpg



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