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日本理音rion支持氫氟酸的液中粒子傳感器“KS-20F”

更新時間：2024-01-24      瀏覽次數(shù)：312

作為在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)體制造現(xiàn)場等的質(zhì)量管理中支持氫氟酸溶液的液中微粒測量儀，里昂的能夠測量

  藥液中0.02μm粒子的液中微粒傳感器“KS-20F"。


迄今為止，我們也向市場投入了測量藥液中0.03μm粒子的液中粒子傳感器。 但是，在最的先的進(jìn)的半導(dǎo)

體制造工序中，進(jìn)一步推進(jìn)了微小工藝技術(shù)，在半導(dǎo)體工廠和材料、藥液制造商的質(zhì)量管理中，對于微小

粒子的測量的需求越來越大。 隨著汽車電動化、電氣產(chǎn)品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信規(guī)格( 5G )

的普及，半導(dǎo)體市場持續(xù)活躍。 因此，通過開發(fā)和投入可測量藥液中0.02μm粒子的液中粒子傳感器，在

滿足這些市場需求的同時，以大型半導(dǎo)體制造商為首，謀求擴大相關(guān)材料、藥液制造商的訂單。


基于液中粒子傳感器“KS-20F"的系統(tǒng)構(gòu)成


「KS-20F」

測量系統(tǒng)各產(chǎn)品名稱:(左下)液中微粒傳感器KS-20F、(左上)控制器KE-40B1、
(右)注射器采樣器KZ-31W


主要特點

    1 )支持氫氟酸溶液，實現(xiàn)最的小的可測粒徑0.02μm

    2 )可以任意地將粒徑區(qū)分設(shè)定在0.02~0.08μm范圍內(nèi)

    3 )豐富的選項支持批量測量和在線測量

測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示例

「KS-20F」



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