AML英國(guó)制造 MEMS傳感器有源皮拉尼和壓電計(jì) AGP-1真空測(cè)量概觀

更新時(shí)間：2024-04-01

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AML英國(guó)制造 MEMS傳感器有源皮拉尼和壓電計(jì) AGP-1真空測(cè)量概觀

MEMS有源皮拉尼和壓電計(jì)

AGP Active Pirani Gaugehead

AGP皮拉尼規(guī)結(jié)合了尖的端的MEMS傳感器技術(shù)、精密的數(shù)字信號(hào)處理和先進(jìn)的測(cè)量算法。

傳感器的設(shè)置和參數(shù)是用戶(hù)可編程的串行接口，使診斷，

預(yù)測(cè)性維護(hù)，服務(wù)，校準(zhǔn)，設(shè)定值配置，模擬輸出縮放

和實(shí)時(shí)真空壓力測(cè)量的采集。提供多種模擬輸出縮放選

項(xiàng)，以模擬其他供應(yīng)商的真空計(jì)和傳感器。

■ Measurement range: 1 x 10-6 mBar to 1333 mBar (7.5 x 10-7 to 1000 Torr)

■ Ultra-wide range high performance MEMS Pirani sensor

■ Advanced innovative digital signal processing

■ Precision gas-independent sensor from 5 to 1333 mBar

■ 0 - 10 Vdc programmable voltage output

■ Mountable in any orientation without impact on performance

■ Programmable voltage output signal

■ Digital RS-232 interface

■ One solid-state relay for process control

■ High overpressure tolerance of 10 bar (145 psi) absolute

■測(cè)量范圍:1 x 10-6毫巴至1333毫巴（7.5 x 10-7至1000托）

■超寬范圍高性能MEMS Pirani傳感器

■先進(jìn)的創(chuàng)新數(shù)字信號(hào)處理

■5~1333 mBar的精密氣體獨(dú)立傳感器

■0-10 Vdc可編程電壓輸出

■可在任何方向安裝，不影響性能

■可編程電壓輸出信號(hào)

■Digital RS-232 interface

■一個(gè)用于過(guò)程控制的固態(tài)繼電器

■絕對(duì)超壓耐受性高，可達(dá)10 bar（145 psi）

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