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更新時間：2025-09-15 
瀏覽次數(shù)：10在高度精密的半導體制造過程中，微量的水分（H?O）都足以成為性能與可靠性的致命威脅。水分可能導致光刻膠失效、金屬線路腐蝕、封裝界面分層（Delamination）和“爆米花"效應（Popcorn Effect）等致命缺陷。因此，對水分含量的精準監(jiān)控貫穿了從原材料驗收、化學品純化到封裝成品的每一個環(huán)節(jié)。
日本Kett KB-30近紅外（NIR）水分計憑借其非接觸、無損、高速、高精度的測量特性，成為半導體行業(yè)應對這一挑戰(zhàn)的關(guān)鍵工具，其主要應用可集中體現(xiàn)在以下三大領(lǐng)域：
半導體制造依賴大量高純度的溶劑、酸、堿和光刻膠。這些化學品中的微量水分是評估其等級和適用性的核心指標之一。
傳統(tǒng)方法的弊端： 傳統(tǒng)的卡爾費休法雖然精確，但屬于離線、接觸式、破壞性的測量。需要取樣，存在污染風險，且耗時較長，無法滿足實時監(jiān)控的需求。
KB-30的解決方案：
在線實時監(jiān)控： 可直接安裝在化學品輸送管道或儲罐上，對流過或存儲的液體化學品進行實時、連續(xù)的水分監(jiān)測，無需取樣，徹的底避免污染。
無損測量： 近紅外光穿透玻璃或塑料視窗進行測量，完的全不與化學品接觸，保證了化學品的純凈度和安全性。
快速反饋： 一旦檢測到水分含量超出預設閾值，可立即觸發(fā)警報，連接自動閥門進行分流或提醒工作人員處理，防止不合格化學品進入生產(chǎn)線。
半導體封裝材料，如環(huán)氧塑封料（EMC）、基板（Substrate）、引線框架（Lead Frame）上的涂層以及聚酰亞胺（PI）漿料等，其含水率直接影響封裝工藝的成功率和最終產(chǎn)品的可靠性。
質(zhì)量控制痛點： 來料材料的含水率必須被嚴格控制在極低的水平（通常為幾百ppm甚至更低）。如果潮濕的材料直接進入高溫回流焊等工藝，內(nèi)部水分急劇汽化會導致內(nèi)部開裂和分層。
KB-30的解決方案：
快速篩查： 對來料的顆粒狀（如EMC顆粒）、片狀（如基板）或粉狀材料進行數(shù)秒內(nèi)的無損快速檢測。無需復雜樣品制備，大幅提升QC效率。
100%檢測可能： 高速測量使得對重要批次進行全數(shù)檢測成為可能，確保無一遺漏。
數(shù)據(jù)可追溯： 測量結(jié)果可輕松記錄并輸出，為每批來料建立質(zhì)量檔案，實現(xiàn)完的美的質(zhì)量追溯。
在許多關(guān)鍵工藝步驟前后，對水分進行監(jiān)控是預防缺陷的必要手段。
關(guān)鍵工藝節(jié)點：
預烘烤（Pre-baking）過程： 在芯片貼裝（Die Attach）或塑封之前，必須確保材料或半成品充分干燥。KB-30可用于判斷烘烤是否達到終點，避免烘烤不足（水分殘留）或過度烘烤（能源浪費和材料老化）。
潔凈廠房環(huán)境監(jiān)控： 雖然主要用于材料，但也可用于監(jiān)測特定環(huán)境中暴露的材料的吸濕情況。
晶圓載具（Wafer Cassette）、舟皿（Boat）的清潔度確認： 清洗后確認這些工器具是否完的全干燥，防止其成為污染源。
KB-30的解決方案：
無縫集成生產(chǎn)線： 可安裝在傳送帶上方或機械手操作工位，對流水線上的產(chǎn)品進行100%在線檢測，實現(xiàn)真正的智能制造和質(zhì)量閉環(huán)控制。
工藝優(yōu)化： 通過連續(xù)監(jiān)測數(shù)據(jù)，可以優(yōu)化烘烤工藝的溫度和時間參數(shù)，提高能效并提升產(chǎn)能。
非接觸與無損： 絕對保證被測樣品和生產(chǎn)環(huán)境的純凈，這是卡爾費休法等接觸式方法無的法的比的擬的絕對優(yōu)勢。
高速高效： 1-3秒內(nèi)得出結(jié)果，滿足在線實時控制和高速生產(chǎn)節(jié)拍的需求。
操作簡便： 無需專業(yè)的化學分析師操作，普通質(zhì)檢員即可完成測量，降低人力成本和操作誤差。
卓的越的可靠性： 日本Kett品牌在水分測量領(lǐng)域擁有悠久歷史，設備穩(wěn)定耐用，適合7x24小時的嚴苛工業(yè)環(huán)境。
總結(jié)：
Kett KB-30近紅外水分計通過其在化學品純度檢測、封裝材料來料QC與過程水分監(jiān)控三大核心應用中的卓的越表現(xiàn)，為半導體行業(yè)構(gòu)建了一道全的方的位、實時、高效的水分防護網(wǎng)。它不僅是質(zhì)量控制的工具，更是提升良率、保障可靠性、實現(xiàn)智能制造升級的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
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