服務(wù)熱線：15766191432產(chǎn)品到哪里，服務(wù)到哪里 !
products category
Related articles
2023-11-21 2023-06-09 thinksrs通用氣體分析儀 UGA系列—多達(dá)300臺(tái)amu氣體分析儀
2023-10-30 2023-05-15 日本理音rion普通噪音計(jì)“NL-43”和精密噪音計(jì)“nl-53”“nl-63”三種機(jī)型
2024-01-24 產(chǎn)品中心/ products
showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室，由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。真空室材料由A5052制成，A5052對(duì)運(yùn)輸室，蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。
產(chǎn)品型號(hào)：SPE廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2023-04-11訪 問 量：567
立即咨詢
聯(lián)系電話：
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|
showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
| 特征 | ||
| 1. | 緊湊型設(shè)備 尺寸（1000mmW×1100mmD×1600mmH） | |
| 2. | 單晶圓系統(tǒng)，生產(chǎn)率高，是批量生產(chǎn)的理想選擇 | |
| 3. | 加工質(zhì)量高 | |
| ? | 單晶圓類型確保高蝕刻均勻性。 | |
| ? | 背面采用非接觸式氣冷系統(tǒng)，不會(huì)損壞基板背面 | |
| 4. | 采用高真空排氣裝置 | |
| 5. | 高可維護(hù)性 | |
| ? | 真空室的小型化便于維護(hù) | |
| 6. | 由于設(shè)備外形緊湊，安裝位置沒有限制 | |
| 1. | 設(shè)備配置 | ||||||||||
| 真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室，由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。 真空室材料由A5052制成，A5052對(duì)運(yùn)輸室，蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。 | |||||||||||
| 2. | 排氣系統(tǒng) | ||||||||||
| |||||||||||
| 3. | 性能 | ||||||||||
| |||||||||||
| 4. | 供電系統(tǒng) | ||||||||||
| |||||||||||
| 5. | 氣體引入系統(tǒng) | ||||||||||
| CF/SF、氦、O2 質(zhì)量流量控制器 3 | |||||||||||
| 6. | 控制系統(tǒng) | ||||||||||
| |||||||||||
| 7. | 外部尺寸 | ||||||||||
| 設(shè)備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH 設(shè)備重量 1000Kg | |||||||||||
| 8. | 公用事業(yè) | ||||||||||
|
掃一掃
您的位置：
在線咨詢
返回頂部